办公专用灯？周全封顶！我国首条碳化硅全产业链生产线可达“百级”清洁度

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周全封顶！我国首条碳化硅全产业链生产线可达“百级”清洁度

2022-01-27    

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　　投资160亿元、占地面积1000亩的湖南省首个第三代半导体产业园及海内首条碳化硅研发生产全产业链生产线，有了新希望。

　　克日，记者从长沙高新区获悉，三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房封顶，占地23206平方米、修建面积52326平方米、钢构大屋面面积16500平方米。

　　建设方中建五局三公司先容,该项目主要包罗碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设。

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　　项目周全建成投产后，将形成碳化硅研发和生产全产业链两条生产线，生产可普遍用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线(5G)通讯等的高质量、低成本、高稳固性碳化硅衬底及各种器件。所有建成后预计可实现年产值120亿元以上，并可动员上下游配套产业产值预计超1000亿元。

　　“项目主要服务于手艺麋集型的半导体产业。半导体生产对空气清洁度有高要求。此次建设的芯片厂房达‘百级’清洁度。”中建五局三公司项目认真人周祥说。

　　所谓“百级”清洁，即每立方英尺空气中粒径大于即是0.5微米的粒子数目不跨越100个，堪比最高清洁品级手术室尺度。

　　项目手艺认真人陆建臻示意，为保证“百级”清洁，芯片厂房接纳华夫板(行使楼板内孔洞形成回风通道的楼板)高精度施工，并确立清洁空调透风系统形成回风通道。芯片厂房华夫板厚度70厘米，可抗微震。

　　华夫板面积达1410平方米，其中浇筑有35000个直径35厘米的奇氏筒，相当于每2平方米就有5个用于换气的圆形孔洞。届时，芯片产线部署于华夫板上，整车间行使新风系统进气保证正压，并通过华夫板回风通道排气，最终保证车间清洁度。

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