教室灯方案？中微公司MiniLED量产用MOCVD装备订单超100腔

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中微公司Miniled量产用MOCVD装备订单超100腔

2022-12-09    

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　　12月9日，中微公司宣布其MOCVD装备迎来又一里程碑：Prismo UniMax® MOCVD装备订单超100腔。

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　　据悉，Prismo UniMax® MOCVD装备于今年6月正式公布，主要用于氮化镓(GaN)基MiniLED外延片量产。MiniLED可被普遍应用于电视、条记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产物。

　　中微公司先容，Prismo UniMax® MOCVD装备专为高性能MiniLED量产而设计，通过创新的多区温度调治系统，能正确控制托盘局部区域温度，有助于更洪水平上提升LED波长平均性。此外，优化的喷淋头设计实现了更好的平均性和产出稳固性，新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

　　Prismo UniMax® 设置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的差异设计，最多可以同时加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高产能并有用降低Mini LED生产成本。Prismo UniMax® 在统一系统中可配备多达4个反映腔，每个反映腔都可以自力控制。

　　Prismo UniMax® 是中微公司MOCVD装备系列的最新产物，该系列产物还包罗Prismo D-BLUE® 、Prismo A7® 和Prismo HiT3® 。2022年，Prismo D-BLUE® 作为那时海内率先自主研发制造的量产型MOCVD装备正式公布。今后，公司相继公布Prismo A7® 和Prismo HiT3® 产物。现在，中微公司的MOCVD装备在行业内主要的LED生产线上周全投入量产。

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