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日本最大的工业气体供应商TNSC启用深紫外led研究
2022-04-14
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克日,TNSC和RIKEN使用TNSC的MOCVD装备举行了验证,展示226 nm波长基于AlGaN的深紫外LED电致发光 (EL)。
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据悉,发射波长为220至350 nm且基于AlGaN的深紫外LED可被用于消毒、医疗等领域,为此TNSC与RIKEN就深紫外LED手艺的外延生长和器件效率提升举行了团结研究。
此前,在4 英寸晶圆设置中使用 TNSC SR4000HT MOCVD演示了280 nm发射波长。这次讲述显示2 英寸x 3 晶片设置的TNSC SR4000HT 具有226 nm 短波长的EL发射。图1示意各波长的EL发射光谱,图2则示意Al组成与各波长的关系,示意发光波长相对于Al组成呈线性转变。
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