格栅条吊灯？爱思强向美国博伊西州立大学提供CCS 3x2 MOCVD系统

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爱思强向美国博伊西州立大学提供CCS 3x2 MOCVD系统

2022-06-09    

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　　克日，德国沉积装备制造商Aixtron SE示意，子公司Aixtron Ltd将从其用于化合物半导体质料的慎密耦合喷头金属有机化学气相沉积(CCS MOCVD)产物系列中向博伊西州立大学提供沉积系统。

　　据领会，此次提供交付给博伊西美光质料研究中央的CCS 3x2系统具有3x2英寸晶圆的容量，最高事情温度为1400°C，这将能够在蓝宝石上沉积石墨烯和六方氮化硼 (hBN)作为氮化镓(GaN)基紫外发光二极管(UV LED)的新型结构。此外，CCS 3x2系统还包罗Aixtron专有的ARGUS和EPISON原位计量手艺，是唯一可以设置用于组合2D和GaN研究的系统手艺，同时还允许异质结构的生长。”

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