教室照明灯具？Veeco携ALLOS提供200mm硅基氮化镓microLED应用

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当今的射频半导体格局正在发生变化 为什么？

Veeco携ALLOS提供200mm硅基氮化镓microled应用

2022-11-13    

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　　Veeco Instruments Inc. 与 ALLOS Semiconductors GmbH 8日宣布取得又一阶段的互助功效，双方通力互助，致力于为microLED生产应用提供业内领先的硅基氮化镓外延片产物手艺。两家公司最近互助的宗旨是，在为全球局限内多家卓越的消费类电子产物公司生产外延片的同时，展示ALLOS 200 mm硅基氮化镓外延片产物手艺在Veeco Propel™ MOCVD反映器上的可复制性。

　　“要将microLED手艺转化为生产，仅依据单项指标展示主导价值是不够的。我们必须确保每种外延片的整套规格都具有精彩的可重复性和收益，”Veeco Compound Semiconductor营业部门高级副总裁兼总司理Peo Hansson博士示意。“此次乐成团结再次一定Veeco的优异MOCVD专业知识与ALLOS硅基氮化镓外延片产物手艺强强连系，能够为客户提供履历证的、可靠的创新方案，加速推进microLED应用。”

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　　作为尺度，传统LED手艺通太过类和分级实现波长一致性。但鉴于microLED尺寸小、数目多而无法分类和分级，因此，外延沉积的一致性变得更为主要。要使大批量生产microLED显示器的答应酿成现实，最主要的乐成要素在于实现极佳的发射波长一致性，这样就不需要举行单独的microLED芯片测试和分选。凭证业内目的要求，外延片分级应介于+/-1 nm(下限)和 +/-4 nm(上限)之间，取决于应用和传质方式。通过互助项目，Veeco和ALLOS通过尺度误差仅为0.85 nm的晶片进一步改善至关主要的波长一致性，这在生产系统方面属于行业首例。

　　“Veeco和ALLOS对晶片之间的可复制性举行了验证，所有晶片的平均波长尺度误差为1.21 nm，且峰值波长介于+/-0.5 nm局限内。由此，我们朝着+/-1 nm外延片分级的目的又迈进一大步，”ALLOS首席执行官Burkhard Slischka示意。“我们的手艺已经可以在直径200 mm的晶片上使用，这样就能使用低成本、高收益的硅系枚举行 microLED芯片生产。此外，我们对于300 mm晶片应用已有清晰的生长蓝图。”

　　作为下一个重大手艺转变主题，microLED备受显示器手艺创新者的关注。据调研公司Yole Développement，到2025年，市售microLED显示器数目可能到达3.3亿台。边长小于100μm的microLED手艺被视作开发功耗更低的旗舰显示器的主要驱动因素，相关手艺答应助长了这一乐观情绪。然则，质料成本高、收益低以及microLED传质手艺产量一直阻碍着此类显示器的开发。此次手艺团结有用地解决了这些挑战，Veeco和ALLOS将继续与客户互助，旨在进一步改善硅基氮化镓外延片和microLED传质手艺。

　　2022年11月12日，两家公司将携手在日本金泽市召开的国际氮化物半导体事情钻研会(IWN)上详细展示他们的突破成就。

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