Plessey采购晶圆键合系统 加大MicroLED的生产？教室里的灯亮

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Plessey采购晶圆键合系统 加大MicroLED的生产

2022-11-16    

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　　据悉，英国光电子手艺解决方案的领先开发商Plessey Semiconductor日前示意，已从晶圆键合和光刻装备生产商EVG购置了GEMINI晶圆键合系统。

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　　该公司设计使用该系统扩大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey示意，GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey位于英国普利茅斯的制造工厂睁开粘合和校准的事情。与此同时，该系统还可将其GaN-on-Si MicroLED阵列与晶圆级背板慎密连系，具有极小像素尺寸所需的高瞄准精度。

　　EVG示意，其获得专利的SmartView ® NT自动键合瞄准系统手艺可实现晶圆的正面临准，具有极高的精度。

　　此外，其GEMINI自动化生产晶圆键合系统实现了最高水平的自动化和流程集成。该全自动平台可实现晶圆到晶圆瞄准以及提供高达300mm的晶圆键合工艺，适用于批量生产。

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