厦门企业接纳爱思强装备，加速SiC器件商业化历程？磁性轨道灯

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厦门企业接纳爱思强装备，加速SiC器件商业化历程

2022-11-18    

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　　克日，全球领先的半导体行业沉积装备供应商AIXTRON爱思强股份有限公司(法兰克福证券生意所：AIXA)宣布，AIXTRON已为瀚天天成电子科技(厦门)有限公司提供了一台AIX G5 WW C 装备，支持其进一步开发下一代碳化硅(SiC)外延片产物，主要用于制造电动汽车中的功率器件。AIXTRON的高产能机台已于2022年第三季度运至中国厦门瀚天天成的清洁室。

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　　AIX G5 WW C MOCVD使用基于经由量产客户验证的AIXTRON行星式反映器®平台，并导入全自动化卡匣式(C2C)晶圆传输系统，实现了业内单腔最大片数(8 x 6英寸)及最大产能。它同时提供了天真的6英寸和4英寸设置，旨在将生产成本压缩到最低，同时保持优良的产物质量。

　　瀚天天成追求进一步扩大其产能，以知足客户日益增进的需求。作为一个领先的中国生产商，瀚天天成已建成4英寸和6英寸生产线，为客户提供600伏，1200伏和1700伏碳化硅功率器件的外延片产物。

　　“近年来，我们已被汽车和其他行业的器件制造商评为领先的SiC外延片供应商。因此我们在这个极具挑战性的行业里已经确立了优越的口碑。至现在为止，我们已经为全球100多个客户提供一流的服务。随着AIX G5WW C的引入，我们的年产能将在2022年增添到60,000片。我们最近完成了18000平方米新工厂的一期扩建，为年产40万片的目的提供清洁室空间。我们和我们的客户都有高质量的尺度，我们依赖于行业领先者，例如AIXTRON和他们成熟的系统来知足这些要求。我们十分期待使用AIX G5 WW C来实现SiC外延片的大规模量产。”瀚天天成总司理冯淦博士说。

　　AIXTRON SE爱思强股份有限公司总裁Felix Grawert博士谈论道：“我们很喜悦与领先的外延代工厂互助，进一步加速碳化硅器件的商业化历程。碳化硅功率器件将助力众多高端电力电子应用的生长，这意味着我们正在为电动汽车及可再生能源等国际大趋势铺平蹊径。”

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