Veeco推出Lumina As / P MOCVD平台,将加速Micro/Mini LED器件的生产？教室黑板灯的安装

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Veeco的收入在第四季度反弹，因为削减成本产生了第二季度的利润

Veeco推出Lumina As / P MOCVD平台,将加速Micro/Mini led器件的生产

2022-02-21    

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照明巨头欧司朗与AM公司XTPL合作

　　美国纽约州普莱恩维尤的外延沉积和工艺装备制造商Veeco Instruments Inc.推出了Lumina金属有机化学气相沉积(MOCVD)平台，该平台连系了专有的TurboDisc反映器手艺，具有精彩的薄膜平均性，产量和装备优势。适用于种种光子学应用。新的MOCVD平台，包罗Lumina R480和Lumina R480S型号，将加速垂直腔外面发射激光器(VCSEL)，边缘发射激光器(EEL)和Micro/Mini LED器件的生产。

　　为了知足消费者对磷化砷(As / P)MOCVD手艺的强烈需求，Lumina平台针对新一代高效光电器件，包罗用于3D感测，自动驾驶和高速数据通讯的VCSEL。Lumina平台还设计用于微型和微型LED生产，用于下一代4K和8K电视，智能手机和可穿着装备以及用于光通讯和硅光子学应用的EEL装备中的高级显示器。

　　产物线治理高级副总裁Gerry Blumenstock示意：“领先的光子学制造商现在正在看到我们的Lumina MOCVD系统的利益，并正在验证其对大批量光子学装备制造的影响。” 他信托：“依附成熟的设计，手艺和性能，Lumina为下一代光子学装备提供了令人兴奋的时机。”

　　Lumina R480和R480S系统基于Veeco的MOCVD TurboDisc手艺，该手艺在长时间的生产历程中具有高平均性和低缺陷率，可实现高产量和天真性。此外，该公司的专有手艺可实现平均的热控制，从而实现了极好的厚度和因素平均性。该系统提供了无缝的晶圆尺寸转换功效，能够在直径最大6英寸的晶圆上沉积高质量的As / P外延层。Veeco说，R480和R480S系统允许用户定制其系统以实现最大价值。

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