4线轨道灯？海内碳化硅4英寸晶片已实现大批量产

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海内碳化硅4英寸晶片已实现大批量产

2022-06-09    

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　　据中央纪委国家监委网站指出，现在中国电科(山西)碳化硅质料产业基地已经实现4英寸晶片的大批量产，6英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底也已经最先工程化验证，为客户提供小批量的产物试用，预计年底到达产业化应用与国际水平相当。

　　今年3月，中国电科(山西)碳化硅质料产业基地在山西转型综合改造树模区正式投产，第一批装备正式启动。基地一期项目可容纳600台碳化硅单晶生长炉，项目建成后将具备年产10万片4-6英寸N型碳化硅单晶晶片、5万片4-6英寸高纯半绝缘型碳化硅单晶晶片的生产能力，是现在海内最大的碳化硅质料产业基地。这一基地的启动，将彻底打破外洋对我国碳化硅封锁的事态，实现碳化硅的完全自主供应。

　　现在国际上碳化硅晶片的及格率最高是70%-80%，而原来海内实验室生产的碳化硅晶片的及格率仅有30%。但在碳化硅产业基地，这个及格率可以到达65%。

　　中电科总司理李斌先容，现在我们在实现迅速研发的同时也进一步开展量产，三年内整个项目要到达18万片每年的产能。另外，我们现在在举行8英寸晶片的研究，希望三年之后，我们能有8英寸的样片出来。由于晶片是整个碳化硅产业链的上游，要走到器件研究的前面。

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