中微公司宣布用于深紫外LED量产的MOCVD装备？大教室感应灯

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中微公司宣布用于深紫外led量产的MOCVD装备

2022-07-30    

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　　中微公司(688012)今日宣布推出PrismoHiT3MOCVD装备，主要用于深紫外LED量产。

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　　据悉，中微公司PrismoHiT3MOCVD装备早期的客户包罗海内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研装备等领域有普遍应用。

　　资料显示，深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消鸩杀菌领域。它通过损坏细菌和病毒的DNA使其损失滋生能力来施展作用。深紫外LED被用于差异波长的杀菌灯中，且与传统的汞灯相比对环境无污染。类似SARS、MERS和新冠病毒的泛起使得深紫外LED产物的需求激增，深紫外LED产物可以祛除这些新生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光就是现在该领域最先进的手艺解决方案(例如杰生半导体的深紫外LED产物)。

　　“我们现在已经看到了深紫外LED带来的切实利益，它已成为祛除有害病原体的主要工具。”杰生半导体有限公司董事长康健示意，“中微公司设计的PrismoHiT3MOCVD装备可以知足深紫外LED大批量、低生产成本的制造需求。中微公司依附其天下一流的工艺专长和高性能的MOCVD装备解决方案，是值得信托的互助同伴。”

　　中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游先容，中微自主研发的PrismoHiT3MOCVD装备延续了现有Prismo平台已验证的主要创新功效，并提升了可在高温工艺环境下生长氮化铝基质料的性能，使之拓展到深紫外LED的应用。杰生半导体致力于连续生长LED手艺并缔造有益于人类康健的产物，很幸运中微的装备解决方案能够助力客户研发下一代深紫外LED产物，并在手艺研发和成本控制上辅助客户杀青目的。

　　资料显示，中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决方案。公司的等离子体刻蚀装备已被普遍应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用;公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备已在客户生产线上投入量产，现在已在全球氮化镓基LEDMOCVD装备市场占有领先职位。

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