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中微半导体装备生产研发基地正式开工
2022-08-06
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8月5日上午,南昌高新区举行2022年重大重点项目集中开工仪式,以中微半导体装备生产研发基地为代表的27个项目集中开工。
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南昌中微半导体装备有限公司于2022年12月确立,是中微半导体装备(上海)股份有限公司全资子公司。该项目于2022年3月实现南昌制造,5月实现周全投产,9月实现规模生产,2022年实现产值9.2亿元。
南昌中微半导体装备生产研发基地项目总投资约10亿元,总修建面积约14万平方米,该项目达产后将实现年产200腔体MOCVD装备的生产能力。
据领会,中微半导体装备公司将在南昌大规模制造具有自主知识产权MOCVD装备,打造成为全球最主要、规模最大的高端MOCVD装备制造基地,推进在南昌开展MOCVD相关的基础科学研究和第三代半导体应用产物开发,逐步将南昌中微打造成天下级MOCVD研发、制造及创新中央;努力促进中微公司生产基地及上下游供应链企业落户南昌,形成半导体高端装备制造的产业集群。
据南昌高新区报道,受新冠肺炎疫情影响,今年以来,市场对深紫外led等具有杀毒功效产物的需求猛增,深紫外LED应用空间广漠。南昌中微半导体装备有限公司捉住时机,努力投入研发气力,研制出了具有自主知识产权的高温MOCVD装备Prismo HiT3,该装备是生产深紫外LED的要害装备。今年6月,首批HiT3机台已从南昌发给客户。
中微半导体的落户,为南昌高新区打造了从MO源、衬底质料、外延、芯片、封装、终端应用及MOCVD焦点要害生产装备等自主知识产权的LED完整产业链,成为天下唯一拥有LED全产业链原创手艺自主知识产权的开发区。
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